在半导体、氢能、制药与光伏等产业中,气体过滤器往往是“非标件”。
每一条产线的气体流量、接口标准、耐压温度和化学环境都不同,这决定了标准化产品无法满足全部需求。
恒歌科技在画册中提出:其产品不仅覆盖 BF/SF/OF/MF/DF/HF 等系列,还能通过 10 万种模具、可选材料与接口标准 实现 OEM/ODM 定制。
下面,我们通过几个典型案例,来看 OEM 定制如何从“需求”变成“交付”。
一、案例一:氢能高压车载过滤器
客户需求:某氢燃料电池车厂,车载储氢瓶压力高达 70 MPa,要求在有限空间内安装高压过滤器,且必须实现 0.003 µm 精度,防止颗粒进入电堆。
设计挑战:
1. 空间约束:车载舱内可用直径 < 40 mm。
2. 高压要求:≥ 35 MPa 长期稳定,冲击压力可达 70 MPa。
3. 氢脆风险:长期氢环境下,常规 316L 容易发生脆化裂纹。
解决方案:
材料选择 Monel 合金,避免氢脆问题。
采用恒歌 HF 系列定制版本,加强外壳结构,内部滤芯孔径控制在 0.003 µm。
法兰接口采用定制快速接头,简化安装。
验证结果:
在第三方实验室完成耐压测试:70 MPa 条件下,未见结构破坏。
过滤效率实测≥ 99.9999999%(9 LRV)。
这一案例显示,OEM 定制不仅解决了材料与结构问题,还保证了车载系统的可靠性。
二、案例二:半导体工艺腔室入口扩散过滤器
客户需求:一家晶圆厂在 PECVD 腔室入口处需要一种能兼顾“过滤 + 气体均匀扩散”的定制部件。
设计挑战:
1. 流量大(> 1000 slpm),普通滤芯易造成压降过高;
2. 需要兼顾 扩散板功能,保证膜层均匀性;
3. 腔室可达 350 ℃,需支持高温运行。
解决方案:
采用 316L 烧结多孔板,厚度和孔径分布精确控制在 0.003–0.5 µm 范围。
设计成“过滤 + 扩散一体化”结构,同时起到末端保护与流场均匀化作用。
提供压差流量曲线数据,确保 < 50 mbar 压降。
验证结果:
在实际 PECVD 工艺中,膜层厚度均匀性提升 15%;
腔室维护周期延长 20%。
三、案例三:制药行业氧气输送系统
客户需求:一家制药工厂需要氧气过滤器,既要符合 GMP 洁净要求,又要避免任何析出污染。
设计挑战:
1. 不能使用含镍材料,避免金属析出;
2. 要支持蒸汽灭菌和清洗;
3. 要符合医药行业的认证标准。
解决方案:
采用钛烧结滤芯,具备优异的生物相容性和耐腐蚀性能。
结构设计为可拆卸式,方便 CIP/SIP 清洗与灭菌。
孔径定制为 0.2 µm,用于生物制药级氧气输送。
验证结果:
通过医药行业第三方认证,颗粒析出量≤ 0.001 ppm;
使用周期超过 3 年。
这一案例体现了恒歌 OEM 的跨行业能力,不仅限于半导体/氢能。
四、质量控制与交付流程
恒歌在 OEM 项目中的交付流程,通常包括:
1. 需求澄清 → 工艺参数、气体性质、接口标准;
2. 设计仿真 → 流体模拟 + 压降曲线预测;
3. 试样制造 → 小批量生产,进行孔径分布与压降实测;
4. 验证测试 → 耐压/耐温/洁净度/寿命实验;
5. 批量交付 → 附带检测报告与参数曲线。
画册中附带的流量压差曲线就是交付文件的重要组成部分,它能帮助客户在工艺设计时准确评估系统性能。
五、采购方的建议清单
对于 OEM 定制过滤器的采购与设计团队,可以参考以下清单:
明确气体种类、流量范围与最大允许颗粒直径;
指定工况下的耐压与耐温要求(如≥20 MPa 或 ≥400 ℃);
指定接口标准(VCR、NPT、C 型/W 型密封等);
在技术协议中要求提供压差曲线、孔径分布与材料成分报告;
验收时核对是否符合 SEMI、ISO 及行业标准。
OEM 定制是过滤器真正进入高端产业的关键。恒歌通过 材料、孔径、接口、形态的灵活组合,把 OEM 从“口头承诺”变成了“可验证的交付”。
从氢能车载系统到半导体腔室入口,再到制药行业的洁净工艺,恒歌的定制能力已经不仅仅是满足客户需求,而是让客户获得可复制的工程保障。
未来,随着半导体进入 2 nm、氢能加速规模化,OEM 定制的价值只会越来越大。
附录:恒歌 OEM 能力参数一览表